石墨合成炉装置的结构与原理

发布时间:

2023-05-29

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石墨合成炉装置自动化程度高,全自动控制,触摸屏直观显示各项参数数据,并有完备的报警和锁定停机保护装置,水、电、电全自动控制,操作方便

石墨合成炉装置自动化程度高，全自动控制，触摸屏直观显示各项参数数据，并有完备的报警和锁定停机保护装置。水、电、电全自动控制，操作方便。

石墨合成炉装置动力柜采用全密封结构。柜体配有水冷和风冷散热器，不与外界空气进行热交换。先进的温控系统采用进口数显智能温控仪表，可与PLC实现数据通讯。全自动高精度测温控制过程，系统可按给定的升温曲线升温，可存储20条升温曲线共400种不同的工艺。采用封闭式内循环纯水冷却系统；数字流量监控系统，每路水流均由流量计监控保护。中科院研制生产的高性能气体净化器，可将气体含氧量降至1PPMV，露点温度可降至-70℃。

石墨合成炉装置采专用高性能中频变频器，避免了传统接触器的打火等接触不良现象。根据加热时间和工艺要求，单个功率柜可配备多个炉体，单个炉体的加热和冷却可分别完成，大大提高了生产效率。石墨合成炉由加热电源、保护气控制系统和石墨管式炉组成。加热电源为合成炉提供能量，电流通过石墨管产生高热高温，温度可达3000℃。保护气控制系统保护石墨管不被烧蚀。内气路中的Ar气从管子两端流向管子中心，并从管子中心孔流出，有效去除干燥灰化过程中产生的基体蒸气，同时保护原子已经雾化不再氧化。

与其他非火焰法相比，多元素相对灵敏度适用元素更多，稳定性更好，适用范围更广。工作温度可达2800度，温度均匀性好，设备运行故障率低。红外线测温控温系统，实时显示炉内温度，PID自动控制（如下图），生产的产品质量稳定。同时保证产品的要求，石墨合成炉采用三相供电方式，三相功率均衡，性能稳定。不像碳管炉采用单相供电，相电压不平衡，对电网影响很大，影响其他设备的运行。使用温度高，温度可达3000℃，可在2600-2800℃工作。炉体密封性好，保护气体损失小。所有法兰和炉盖都用密封条密封。

石墨合成炉装置内胆和法兰采用不锈钢材料，不生锈，使用寿命长。配备炉内换气用真空泵，换气时间短，耗气量小。

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